深圳奕帆科技法蘭固定式氫氣檢測(cè)儀半導(dǎo)體，針對(duì)半導(dǎo)體制造 CVD 薄膜沉積腔體、載氫輸送管道、真空腔體連接法蘭微量氫氣泄漏監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)，適配半導(dǎo)體潔凈車(chē)間 Class 5 無(wú)塵環(huán)境，兼顧高純載氫純度檢測(cè)與微量泄漏預(yù)警雙重需求，定制潔凈級(jí)一體化法蘭安裝底座，可直接固定腔體法蘭密封面，精準(zhǔn)捕捉真空腔體法蘭微量氫氣滲漏，避免氫氣積聚引發(fā)腔體爆炸、晶圓工藝報(bào)廢，設(shè)備防爆、潔凈雙認(rèn)證齊全，符合半導(dǎo)體工廠無(wú)塵車(chē)間安全管控與環(huán)保監(jiān)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。

整機(jī)法蘭底座采用鏡面拋光 316L 不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)壁噴涂 PTFE 潔凈防腐涂層，無(wú)粉塵脫落、無(wú)雜質(zhì)析出，不會(huì)污染半導(dǎo)體潔凈車(chē)間生產(chǎn)環(huán)境，耐硅烷、氨氣等工藝腐蝕性氣體，適配 CVD 工藝高溫真空法蘭工況。核心搭載高選擇性氫氣專(zhuān)用傳感器，針對(duì)半導(dǎo)體車(chē)間硅烷、磷化氫、氮?dú)狻鍤庾鼋徊娓蓴_過(guò)濾算法，僅響應(yīng)氫氣氣體，杜絕其他工藝氣體造成誤報(bào)警；兩種量程可選：0-1000ppm 微量泄漏監(jiān)測(cè)、0-100% VOL 高純載氫純度檢測(cè)，T90 響應(yīng)速度≤15 秒，腔體法蘭極微量滲漏快速捕捉，提前預(yù)警規(guī)避工藝事故。

整機(jī)殼體采用輕量化防爆鋁合金，表面無(wú)塵啞光處理，IP65 防塵防水防護(hù)，車(chē)間潔凈加濕、恒溫恒濕環(huán)境穩(wěn)定運(yùn)行，工作溫度 0~60℃，適配半導(dǎo)體車(chē)間恒溫工況；內(nèi)部電路做防靜電處理，避免靜電擊穿晶圓、損壞精密腔體設(shè)備，本安防爆電路設(shè)計(jì)，車(chē)間全程不間斷生產(chǎn)無(wú)需斷電監(jiān)測(cè)。機(jī)身小型高清單色液晶顯示屏，低光無(wú)反光，適配無(wú)塵車(chē)間柔和照明環(huán)境，實(shí)時(shí)顯示氫氣濃度、腔體監(jiān)測(cè)點(diǎn)位編號(hào)、高低報(bào)警閾值，紅外遙控免開(kāi)蓋調(diào)試，無(wú)塵車(chē)間開(kāi)蓋會(huì)破壞潔凈度，地面遠(yuǎn)程即可完成校準(zhǔn)、參數(shù)修改，不干擾車(chē)間無(wú)塵等級(jí)。

通訊輸出支持 RS485 數(shù)字信號(hào)、4-20mA 模擬量，可接入半導(dǎo)體車(chē)間潔凈區(qū) DCS 控制系統(tǒng)、腔體設(shè)備聯(lián)動(dòng)模塊，內(nèi)置雙路繼電器，氫氣濃度超標(biāo)自動(dòng)聯(lián)動(dòng)腔體真空閥切斷氫氣載氣、啟動(dòng)氮?dú)獯祾咔惑w，同步觸發(fā)車(chē)間分區(qū)聲光報(bào)警器，實(shí)現(xiàn)監(jiān)測(cè) - 預(yù)警 - 自動(dòng)處置閉環(huán)管控。設(shè)備低功耗運(yùn)行，不產(chǎn)生多余熱量影響車(chē)間恒溫環(huán)境，自帶本地?cái)?shù)據(jù)存儲(chǔ)，自動(dòng)留存兩年監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)、報(bào)警記錄，支持對(duì)接工廠 MES 生產(chǎn)管理系統(tǒng)、環(huán)保廢氣監(jiān)管平臺(tái)，留存氫氣安全監(jiān)測(cè)臺(tái)賬，滿足半導(dǎo)體企業(yè)環(huán)保、安監(jiān)審核。

奕帆固定式半導(dǎo)體晶圓車(chē)間氫氣檢測(cè)儀廠家可根據(jù)半導(dǎo)體腔體法蘭規(guī)格定制 DN25/DN40 小型潔凈法蘭、加長(zhǎng)真空探桿法蘭，整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，傳感器獨(dú)立拆裝，更換耗材無(wú)需拆卸腔體法蘭，不中斷晶圓生產(chǎn)線。設(shè)備出廠經(jīng)過(guò)無(wú)塵潔凈測(cè)試、真空氫氣泄漏模擬測(cè)試、長(zhǎng)期穩(wěn)定性老化測(cè)試，整機(jī)質(zhì)保 24 個(gè)月，配套半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間專(zhuān)屬上門(mén)校準(zhǔn)服務(wù)，國(guó)內(nèi)多家晶圓、芯片制造企業(yè)長(zhǎng)期批量采購(gòu)，是半導(dǎo)體 CVD 腔體法蘭氫氣安全監(jiān)測(cè)專(zhuān)用設(shè)備。

奕帆固定式半導(dǎo)體晶圓車(chē)間氫氣檢測(cè)儀廠家