奕帆科技銀色固定式溴化氫在線檢測(cè)儀專為半導(dǎo)體干法刻蝕、濕法清洗產(chǎn)線研發(fā)，溴化氫作為芯片制程核心蝕刻氣體，具備強(qiáng)腐蝕性、人體微量吸入即可造成呼吸道不可逆損傷，半導(dǎo)體車間潔凈、高溫高濕、多酸性氣體共存工況對(duì)檢測(cè)設(shè)備抗干擾、防腐、穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛，本款銀色不銹鋼機(jī)身適配無(wú)塵潔凈車間使用標(biāo)準(zhǔn)，外殼電解拋光處理，無(wú)積灰死角，符合 Class5 潔凈車間安裝要求，不易吸附蝕刻酸堿廢氣，長(zhǎng)期使用不生銹、不氧化發(fā)黃，外觀銀色啞光質(zhì)感，適配各類潔凈產(chǎn)線設(shè)備布局。

核心傳感單元采用定制化 HBr 專用電化學(xué)模組，針對(duì)半導(dǎo)體車間氟氣、氯氣、硅烷共存環(huán)境優(yōu)化抗干擾程序，過(guò)濾共存氣體信號(hào)干擾，保證溴化氫濃度數(shù)據(jù)零偏移；量程支持 0-10ppm 職業(yè)接觸限值專屬檔位，貼合半導(dǎo)體 TLV-TWA 3ppm 安全管控標(biāo)準(zhǔn)，分辨率 0.01ppm，可精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)刻蝕腔體密封微量滲漏；整機(jī)電路做二級(jí)防雷、防靜電處理，抵御車間高頻蝕刻設(shè)備電磁脈沖干擾，數(shù)據(jù)傳輸穩(wěn)定不丟包，24 小時(shí)不間斷在線采集蝕刻區(qū)域氣體濃度，液晶屏同步存儲(chǔ) 7 天濃度變化曲線，方便工藝人員追溯泄漏時(shí)段，優(yōu)化腔體密封維護(hù)周期。

整機(jī)防爆等級(jí) Ex dⅡCT6，IP66 防水防塵，產(chǎn)線噴淋清洗、水汽彌漫環(huán)境下內(nèi)部電路不受侵蝕；標(biāo)配 4-20mA、RS485 雙路信號(hào)輸出，可直接接入半導(dǎo)體中央控制系統(tǒng)，聯(lián)動(dòng)刻蝕機(jī)臺(tái)安全聯(lián)鎖，濃度超 1ppm 低報(bào)警自動(dòng)開(kāi)啟潔凈間新風(fēng)系統(tǒng)，超過(guò) 3ppm 高報(bào)警自動(dòng)切斷溴化氫供氣管道、啟動(dòng)氮?dú)獯祾咔惑w，杜絕氣體擴(kuò)散至潔凈車間。設(shè)備操作全部依靠配套紅外遙控器，無(wú)需打開(kāi)銀色防爆外殼，避免無(wú)塵車間開(kāi)蓋帶來(lái)粉塵污染，自動(dòng)校正功能，每月自動(dòng)校準(zhǔn)基線，減少人工頻繁標(biāo)定工序，適配半導(dǎo)體產(chǎn)線少人工值守自動(dòng)化運(yùn)維模式。

機(jī)身銀色一體化壓鑄結(jié)構(gòu)，體積緊湊不占用產(chǎn)線操作空間，支持吸頂、側(cè)壁、管道流通式三種安裝，蝕刻腔體、廢氣排放支管、潔凈車間通道均可定點(diǎn)布設(shè)；工作溫濕度覆蓋 - 20~50℃、10%-95% RH 非凝露環(huán)境，適配刻蝕設(shè)備 80-120℃散熱周邊高溫區(qū)域；

奕帆半導(dǎo)體蝕刻工藝溴化氫檢測(cè)儀廠家出廠配套全套安裝支架、防腐采樣探頭、屏蔽通訊線纜，整機(jī)通過(guò)半導(dǎo)體防腐可靠性測(cè)試，證件齊全，符合電子制造行業(yè)環(huán)保安監(jiān)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，有效解決半導(dǎo)體產(chǎn)線溴化氫泄漏難察覺(jué)、人工巡檢滯后、超標(biāo)無(wú)法自動(dòng)聯(lián)鎖管控痛點(diǎn)，兼顧潔凈外觀、高精度檢測(cè)、自動(dòng)化聯(lián)動(dòng)三大核心需求，是 3nm-90nm 全制程芯片工廠標(biāo)準(zhǔn)化配套監(jiān)測(cè)設(shè)備。

奕帆半導(dǎo)體蝕刻工藝溴化氫檢測(cè)儀廠家