深圳奕帆科技手提式氦氣檢測(cè)儀半導(dǎo)體專(zhuān)用版，面向半導(dǎo)體晶圓車(chē)間、芯片封裝廠(chǎng)、真空鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)、氦氣回收系統(tǒng)氣密性檢測(cè)研發(fā)，適配無(wú)塵潔凈車(chē)間嚴(yán)苛使用環(huán)境，精準(zhǔn)檢測(cè)真空腔體、管路接頭、氦氣回收設(shè)備微量氦氣泄漏，同時(shí)檢測(cè)高純氦氣供氣純度，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行，避免氦氣泄漏、純度不達(dá)標(biāo)造成芯片生產(chǎn)報(bào)廢損失。設(shè)備搭載專(zhuān)用潔凈型熱傳導(dǎo)傳感器，經(jīng)過(guò)無(wú)塵車(chē)間工況專(zhuān)項(xiàng)調(diào)試，無(wú)粉塵殘留、無(wú)氣體吸附殘留，不會(huì)污染半導(dǎo)體潔凈車(chē)間環(huán)境；檢測(cè)量程 0-100% VOL 全覆蓋，分辨率 0.01% VOL，響應(yīng)速度快，真空腔體微小氦氣泄漏可瞬間捕捉，數(shù)值重復(fù)性誤差≤±1%，長(zhǎng)期連續(xù)檢測(cè)數(shù)值無(wú)漂移，適配半導(dǎo)體車(chē)間全天候巡檢作業(yè)。

整機(jī)采用無(wú)塵防靜電 ABS 外殼，表面防靜電涂層處理，不會(huì)產(chǎn)生靜電擊穿精密芯片設(shè)備，機(jī)身無(wú)縫隙、易擦拭清潔，符合無(wú)塵車(chē)間潔凈度使用標(biāo)準(zhǔn)；輕量化機(jī)身僅 430g，搭配可拆卸掛繩、工裝夾扣，操作人員手持、胸前懸掛均可，長(zhǎng)時(shí)間巡檢無(wú)負(fù)重壓力；簡(jiǎn)化式操作按鍵，一鍵開(kāi)啟采樣泵、一鍵保存檢測(cè)數(shù)據(jù)、一鍵切換純度 / 檢漏模式，無(wú)需專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員即可快速完成檢測(cè)工作。采樣氣路全部采用食品級(jí)、潔凈級(jí) PTFE 管路，無(wú)油污、無(wú)雜質(zhì)析出，不會(huì)污染半導(dǎo)體真空設(shè)備；標(biāo)配可伸縮潔凈金屬采樣探桿，可伸入狹小真空腔體縫隙檢測(cè)，探桿可拆卸酒精擦拭消毒，滿(mǎn)足無(wú)塵車(chē)間清潔規(guī)范；氣路集成微型干燥過(guò)濾芯，過(guò)濾空氣中水汽，防止水汽進(jìn)入真空管路造成設(shè)備故障。

數(shù)據(jù)管理與合規(guī)功能，內(nèi)置 10 萬(wàn)組大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，自動(dòng)記錄檢測(cè)時(shí)間、氦氣濃度、車(chē)間溫濕度、檢測(cè)點(diǎn)位，每條記錄留存，支持 USB 導(dǎo)出檢測(cè)報(bào)表，報(bào)表格式符合半導(dǎo)體工廠(chǎng)質(zhì)檢、設(shè)備運(yùn)維臺(tái)賬標(biāo)準(zhǔn)；可選配藍(lán)牙無(wú)線(xiàn)傳輸功能，檢測(cè)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)同步至車(chē)間中控電腦，管理人員遠(yuǎn)程查看各產(chǎn)線(xiàn)氦氣檢測(cè)數(shù)據(jù)。安全防護(hù)方面，設(shè)備具備防靜電、防塵 IP65 防護(hù)等級(jí)，可適應(yīng)無(wú)塵車(chē)間恒溫恒濕環(huán)境；大容量低噪鋰電池，無(wú)靜電放電隱患，單次滿(mǎn)電持續(xù)工作 13 小時(shí)，滿(mǎn)足全天多條半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)巡回檢測(cè)；配套無(wú)塵專(zhuān)用無(wú)紡布收納袋，存放儀器避免灰塵附著。

奕帆半導(dǎo)體電子行業(yè)高純氦氣報(bào)警器廠(chǎng)家支持半導(dǎo)體企業(yè)定制多氣體復(fù)合檢測(cè)、無(wú)線(xiàn)云端數(shù)據(jù)監(jiān)控、現(xiàn)場(chǎng)拍照取證功能，提供無(wú)塵車(chē)間使用專(zhuān)項(xiàng)技術(shù)培訓(xùn)，整機(jī)質(zhì)保一年，終身提供傳感器校準(zhǔn)、更換維護(hù)服務(wù)。

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