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詳細介紹
深圳奕帆科技法蘭固定式氪氣檢測儀，專為半導體芯片制造、晶圓蝕刻工藝管道研發，標準 DN80 法蘭一體式安裝設計，適配高純氪氣載氣輸送管道法蘭點位實時泄漏監測，針對半導體潔凈車間無塵、防爆、高精度監測需求打造，是微電子行業稀有氣體安全監測專用儀表。
半導體制造環節氪氣作為蝕刻、離子注入核心載氣，管道法蘭密封處極易發生微量泄漏，氪氣屬于惰性窒息性氣體，密閉潔凈車間泄漏會造成操作人員缺氧昏迷，同時高純氪氣單價高昂，微量泄漏將帶來巨大生產成本損耗。奕帆法蘭固定式氪氣檢測儀采用法蘭直裝式結構，直接固定在輸送管道法蘭端面，氣室與管道內部連通，無氣體采樣延遲，實時捕捉管道內部氪氣濃度變化，杜絕監測數據滯后問題。
核心傳感單元選用軍工級紅外氪氣傳感器，針對半導體高純低雜質工況優化算法，過濾氮氣、氬氣、氧氣等背景氣體干擾，測量精度≤±1.5% FS，檢出限 0.01ppm，可精準識別 ppb 級微量氪氣泄漏；設備內置高精度恒溫氣室，隔絕潔凈車間溫濕度波動對檢測數值的干擾，長期連續運行零點漂移極小，無需頻繁現場校準，適配半導體工廠全年無休生產模式。
機身采用 316L 不銹鋼法蘭 + 防爆鋁合金主機分體結構，法蘭接觸面鏡面拋光處理，搭配 PTFE 耐腐蝕密封墊，耐半導體工藝特種腐蝕氣體、高純介質腐蝕，承壓最高 2.5MPa，適配高壓氪氣輸送管道；整機防爆認證 Ex d IIC T6，滿足半導體防爆潔凈車間 1 區、2 區危險區域安裝標準，IP67 全密封防護，阻擋無塵車間超細粉塵、清洗水汽侵入設備內部。
操作交互配備 4 寸高清工業液晶屏，全中文操作界面，實時顯示氪氣實時濃度、管道壓力、設備運行溫度、高低報警閾值；支持三級報警閾值自由設定（預警、低報、高報），一體化聲光報警裝置安裝于設備側面，不占用法蘭安裝空間，車間遠距離清晰識別報警信號。通訊接口支持 RS485 無線遠傳、4-20mA 有線信號輸出，可對接半導體工廠 MES 生產管理系統、環保廢氣在線監測平臺，自動存儲歷史濃度數據，支持數據本地緩存、云端上傳，便于企業環保臺賬留存、生產工藝數據分析。
維護設計人性化，配套紅外遙控調試工具，現場免開蓋完成零點校準、量程修正、報警參數修改；模塊化傳感器組件，單人快速拆卸更換，無需整臺設備拆機，大幅降低停機維護時長，不影響半導體產線連續生產。奕帆半導體晶圓制造管道氪氣檢測儀廠家，支持法蘭規格（DN50/DN80/DN100）、檢測量程、通訊功能定制，提供完整出廠資質文件、上門技術培訓、全年免費線上技術支持，是半導體晶圓廠氪氣管道法蘭泄漏監測優選設備。
奕帆半導體晶圓制造管道氪氣檢測儀廠家
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