深圳奕帆科技固定式紅色款氬氣檢測(cè)儀，是半導(dǎo)體晶圓潔凈車(chē)間高純氬氣輸送管道、氣體柜、工藝腔體專(zhuān)用在線監(jiān)測(cè)設(shè)備，整機(jī)一體化集成高亮紅色聲光報(bào)警裝置，潔凈室柔和燈光環(huán)境下紅色警示燈辨識(shí)度，一旦氬氣微量泄漏即刻高分貝蜂鳴 + 紅光閃爍雙重預(yù)警，保障微電子無(wú)塵車(chē)間人員與精密設(shè)備安全。

設(shè)備整機(jī)采用輕量化防爆鋁合金機(jī)身，外層啞光紅色防腐涂層，無(wú)掉漆、無(wú)粉塵脫落，不會(huì)污染潔凈車(chē)間無(wú)塵環(huán)境，整機(jī)通過(guò) Ex d ⅡCT6 防爆認(rèn)證、CPA 計(jì)量器具認(rèn)證、CE 歐盟出口認(rèn)證，滿(mǎn)足半導(dǎo)體工廠嚴(yán)苛安規(guī)與環(huán)保檢測(cè)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，可長(zhǎng)期在 Class1000 無(wú)塵潔凈區(qū)穩(wěn)定運(yùn)行。

核心傳感單元選用進(jìn)口高純度熱導(dǎo)傳感器，針對(duì) 99.999% 高純氬氣純度檢測(cè)優(yōu)化調(diào)校，檢測(cè)量程支持 0-100% Vol 全量程定制，檢測(cè)誤差控制在 ±1.5% F.S 以?xún)?nèi)，分辨率高達(dá) 0.001% Vol，可精準(zhǔn)識(shí)別管道內(nèi)氬氣純度波動(dòng)與微小泄漏，避免高純工藝氣體泄漏造成晶圓加工報(bào)廢、車(chē)間缺氧安全隱患。

機(jī)身配置 2.8 寸工業(yè)高清觸控彩屏，潔凈室人員可直觀查看實(shí)時(shí)氬氣濃度、氣體純度、設(shè)備自檢狀態(tài)、高低兩級(jí)報(bào)警記錄，配套紅外無(wú)線遙控器，全程免開(kāi)蓋操作，無(wú)塵車(chē)間無(wú)需打開(kāi)設(shè)備外殼即可完成校準(zhǔn)、參數(shù)設(shè)置，杜絕粉塵進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部影響檢測(cè)精度。

通訊輸出兼容 RS485 數(shù)字總線與 4-20mA 模擬信號(hào)，可接入半導(dǎo)體工廠 DCS 中控系統(tǒng)、潔凈室環(huán)境監(jiān)控平臺(tái)，實(shí)時(shí)上傳 24 小時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，設(shè)備自帶數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，可自動(dòng)留存 30 天濃度曲線與報(bào)警記錄，便于環(huán)保、安監(jiān)日常數(shù)據(jù)溯源核查。

設(shè)備標(biāo)配流通式管道氣室，適配 1/4、3/8 工業(yè)高純氣管路對(duì)接，同時(shí)支持壁掛擴(kuò)散式安裝，可靈活布置在氬氣供氣柜、刻蝕機(jī)、沉積設(shè)備周邊，IP66 高防護(hù)等級(jí)，防潮、防塵、抗?jié)崈羰已h(huán)氣流干擾，內(nèi)置多級(jí)濾波算法，消除潔凈室氣流、溫濕度波動(dòng)帶來(lái)的數(shù)據(jù)漂移，全天候穩(wěn)定輸出精準(zhǔn)檢測(cè)數(shù)值。

奕帆半導(dǎo)體潔凈室高純氬氣檢測(cè)儀廠家可根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)需求定制專(zhuān)屬量程、潔凈室專(zhuān)用無(wú)揚(yáng)塵外殼、無(wú)線 LORA 遠(yuǎn)程傳輸模塊，整機(jī)出廠完成 72 小時(shí)高低溫老化測(cè)試，24 個(gè)月整機(jī)質(zhì)保，配備專(zhuān)業(yè)微電子行業(yè)技術(shù)工程師上門(mén)安裝調(diào)試，適配芯片制造、光伏硅片、電子元器件封裝等全產(chǎn)業(yè)鏈潔凈車(chē)間氬氣監(jiān)測(cè)場(chǎng)景。

奕帆半導(dǎo)體潔凈室高純氬氣檢測(cè)儀廠家