深圳奕帆科技固定式無線氬氣檢測儀，專為半導體晶圓制造、芯片刻蝕、薄膜沉積、電子元件無塵加工車間研發，適配電子制造行業高純氬氣工藝環境監測、密閉潔凈間氬氣泄漏安全防護雙重需求，采用無線物聯網傳輸架構，解決無塵車間不能大面積布線、線纜易產生粉塵污染、潔凈產線改造施工受限的行業難題，是半導體、精密電子制造企業潔凈車間安全生產、高純工藝管控專用監測設備。

在半導體芯片生產全流程中，高純氬氣是晶圓刻蝕、離子注入、薄膜沉積核心載氣與保護氣，潔凈車間內部通風條件受限，氬氣一旦從供氣管道、晶圓設備腔體發生微量泄漏，會快速在潔凈車間設備底部、密閉工藝隔間堆積，置換潔凈空間內氧氣，車間技術人員長期巡檢作業易出現缺氧窒息風險；同時氬氣純度波動、微量泄漏會直接破壞晶圓加工高純惰性工藝環境，造成芯片晶圓氧化、電路刻蝕缺陷，大幅降低芯片良品率，給電子制造企業帶來高額生產成本損耗，本款無線氬氣檢測儀可 24 小時不間斷實時監測無塵車間各工藝點位氬氣濃度，提前預警微量泄漏，穩定高純氬氣工藝環境，兼顧人員安全與芯片生產品質管控。

設備傳感單元選用進口超高精度熱導式氬氣專用傳感器，針對半導體無塵車間低粉塵、高潔凈、微量氬氣檢測需求專項優化傳感算法，規避車間潔凈氣體、微量揮發性電子化學品帶來的數據檢測干擾，檢測量程 0-100% VOL 全覆蓋，同時支持微量泄漏低濃度監測與高純氬氣 99.999% 純度精準檢測，分辨率高達 0.001% VOL，T90 響應時間≤20 秒，可精準捕捉設備腔體、供氣管道的微量氬氣滲漏；傳感器前端配備 PTFE 潔凈級防塵濾膜，無粉塵脫落、無雜質揮發，符合無塵車間潔凈標準，不會對晶圓、電子元件造成粉塵污染，傳感器穩定使用壽命長達 5 年，大幅減少無塵車間頻繁更換傳感器帶來的產線停機、潔凈環境二次污染問題。

整機外殼采用潔凈級無揮發鑄鋁材質，表面啞光防靜電涂層，通過 CT6 防爆安全認證，適配半導體車間易燃易爆特種工藝工況，防護等級 IP67，防水防塵防靜電，可適應潔凈車間恒溫恒濕標準工況，工作溫度穩定區間 20℃~26℃，可長期持續不間斷 7×24 小時運行，適配半導體工廠全年無休連續生產模式。

設備采用全無線物聯網傳輸設計，內置工業級 LoRa 遠距離無線傳輸模塊，潔凈車間無遮擋環境下傳輸距離可達 3000 米，同時兼容 NB-IoT、4G 全網通雙模通訊，全程無需鋪設信號線纜、通訊管線，從根源避免無塵車間布線施工產生粉塵、破壞潔凈等級；設備搭載大容量低功耗工業鋰電池，滿電狀態下可持續穩定運行 8 個月，無需頻繁充電維護；配套潔凈車間專用磁吸式壁掛安裝底座，安裝過程無粉塵、無工具打磨，單人 5 分鐘即可完成潔凈設備墻面、晶圓加工設備旁固定安裝，后期產線設備移位、潔凈車間改造時，檢測儀可直接拆卸更換點位，無需二次施工，不影響車間潔凈等級與正常芯片生產。

設備正面搭載 2.4 寸高清無塵專用液晶顯示屏，低反光、防靜電，實時直觀展示現場氬氣濃度、車間溫濕度、無線信號強度、電池剩余電量，界面簡潔，支持中英文切換；配套紅外無線遙控器，無需開啟潔凈設備外殼，隔著防爆殼體即可遠程完成高低兩級報警閾值設置、零點校準、高純量程標定、數據存儲周期調整，調試全程不破壞潔凈車間密閉環境，無需停機，不中斷芯片加工生產，潔凈車間運維人員簡單培訓即可獨立完成設備調試與日常校準維護。

設備搭載多級安全預警系統，機身集成低噪音高分貝聲光報警器，適配無塵車間低噪音管控標準，氬氣濃度觸發低預警、高危險兩級閾值時，同步發出柔和高頻警報與紅色低亮度爆閃燈光，既可以及時提醒車間運維人員處置泄漏，又不會產生高分貝噪音干擾芯片精密加工；無線傳輸模塊同步將實時濃度數據、報警信息實時上傳奕帆專屬潔凈車間云監控平臺，企業生產管理人員、EHS 安全工程師可通過電腦 PC 端后臺、手機 APP、企業微信小程序，隨時隨地遠程查看全廠所有潔凈車間、晶圓設備監測點位實時氬氣濃度、30 天歷史濃度變化曲線、全部泄漏報警記錄；云平臺支持監測數據自動云端存儲，一鍵導出標準化 Excel 安全生產臺賬報表，滿足半導體工廠 EHS 安全管理、環保安監、潔凈車間體系審核的數據追溯要求。

設備內置智能故障自診斷程序，24 小時不間斷巡檢傳感器失效、電池虧電、無線信號中斷、探頭濾膜堵塞等異常故障，屏幕自動彈窗顯示故障代碼與簡易潔凈環境專用檢修方案，大幅降低無塵車間設備故障排查、維修難度；設備預留無源繼電器聯動輸出接口，可直接對接潔凈車間通風凈化系統、氬氣供氣管道電磁閥、車間分區報警指示燈，氬氣濃度超標時自動聯動開啟潔凈通風設備、切斷高純氬氣供氣閥門，實現潔凈車間氬氣泄漏全自動應急處置，避免泄漏擴散污染整套晶圓產線。

奕帆電子制造無塵車間氬氣檢測儀廠家，免費提供遠程潔凈車間設備技術指導、上門無塵校準、故障維修服務，支持根據大型半導體產業園、多條晶圓自動化產線定制多設備集中無線組網管控方案，支持定制超高純氬氣檢測量程、工業 Modbus-RTU 標準通訊協議，無縫對接半導體工廠 DCS、PLC 自動化中控系統，以潔凈化、無線化、智能化監測方案，保障半導體無塵車間作業人員安全與高純晶圓生產良品率。

奕帆電子制造無塵車間氬氣檢測儀廠家