










深圳奕帆科技固定式法蘭氙氣檢測儀,聚焦半導體芯片制造、晶圓蝕刻工藝管道氙氣濃度實時監測,采用一體化法蘭管道安裝結構,法蘭接觸面配備耐腐氟橡膠密封墊片,耐受半導體車間特種工藝氣體、輕微酸堿腐蝕,可長期安裝在高純氙氣輸送管道、蝕刻機供氣支管,實現 24 小時不間斷在線監測氙氣純度與微量泄漏。設備核心傳感單元選用進口熱導傳感器,針對高純氙氣檢測優化算法,低濃度滲漏與高純度氙氣均可精準區分,分辨率最高可達 0.01% VOL,滿足半導體行業高精度工藝管控標準。
整機隔爆防爆結構設計,取得國家防爆合格證、CMC 計量器具生產許可,符合危化車間設備使用規范;防護等級 IP67,可適應半導體車間恒溫高濕、潔凈無塵工況,外殼采用輕量化鋁合金材質,抗靜電、抗電磁干擾,不受車間光刻機、等離子設備電磁信號影響,監測數值穩定無波動。設備供電支持 12-30V 寬壓直流供電,適配工業 24V 常規供電系統,電路內置防反接、防雷、浪涌保護模塊,杜絕電壓波動損壞核心元器件,大幅降低設備故障率。
數據傳輸功能,同時搭載 4-20mA 標準工業模擬信號與 RS485 總線數字信號,可接入半導體工廠智能中控系統、上位機監測軟件,實時上傳氙氣濃度、設備運行狀態、報警記錄;內置大容量數據存儲模塊,可自動存儲 12 個月歷史監測數據,支持 U 盤導出、電腦打印數據報表,滿足環保、安全生產臺賬存檔要求。設備配套一體式聲光報警器,兩級濃度報警自定義設置,低濃度預警、高濃度聯鎖停機雙重防護;傳感器采用插拔式模塊化設計,后期校準、更換無需整臺設備拆卸,運維便捷,大幅降低企業人工維護成本。奕帆半導體晶圓制造管道氙氣檢測儀廠家,可根據半導體管道管徑定制 DN40/DN50/DN80 法蘭規格,提供安裝指導、現場校準服務,整機兩年質保,是半導體高純氙氣管道在線監測優選設備。
奕帆半導體晶圓制造管道氙氣檢測儀廠家