深圳奕帆科技固定式無線氙氣在線監測儀，深度適配半導體晶圓、芯片蝕刻、薄膜沉積、光電元器件制造產線，針對高純氙氣工藝配比、管道微量泄漏、潔凈車間稀有氣體管控研發，是電子制造行業氙氣濃度精準管控專用監測設備。

半導體制造工序大量使用高純氙氣作為工藝載氣，管道微小泄漏不僅會造成高純氙氣原料大量損耗，泄漏積聚還會導致車間氧氣含量下降，引發作業人員缺氧窒息風險，傳統有線檢測儀布線會破壞潔凈車間無塵環境，增加潔凈區改造成本。奕帆無線款氙氣檢測儀解決以上痛點，搭載 WiFi 無線傳輸模塊，可接入車間潔凈區內網，無需鋪設信號電纜，不破壞無塵車間地面、吊頂潔凈層，壁掛式輕薄機身設計，不占用產線操作空間，適配潔凈廠房嚴苛安裝要求。

設備核心搭載進口超高精度熱導式氙氣專用傳感器，經過高純惰性氣體專項算法校準，可精準區分氙氣、氬氣、氪氣、氦氣等多種稀有氣體，無交叉干擾，適配半導體車間多種混合稀有氣體工藝環境；量程覆蓋微量 0-1% VOL 高純配比監測至 0-100% VOL 純度檢測，測量精度≤±0.3% FS，分辨率可達 0.001% VOL，精準把控晶圓工藝氙氣配比精度，微量管道泄漏實時捕捉，避免因氣體配比失衡造成晶圓批量報廢，降低企業原材料損耗與生產損失。

整機外殼采用輕量化不銹鋼潔凈殼體，光滑表面，便于無塵車間酒精擦拭清潔，IP66 防塵防水防護等級，可抵御潔凈車間循環水汽、輕微化學揮發物腐蝕；內部電路搭載多級濾波抗干擾模塊，抵御半導體車間高頻設備電磁干擾，保障長期監測數據穩定不漂移。

供電采用 24V 直流工業供電 + 內置備用鋰電池雙模式，斷電后鋰電池可持續監測 72 小時以上，保障產線不間斷監測；超低功耗 WiFi 無線傳輸，數據實時同步上傳至車間 MES 生產管理系統、奕帆云端監測平臺，生產管理人員中控電腦、辦公室手機可實時查看各晶圓機臺氙氣實時濃度、24 小時濃度變化曲線、歷史報警記錄，實現工藝氣體數據可視化管控。

2.5 寸高清無塵專用顯示屏，無反光防眩光屏幕，潔凈車間強光照明下數值清晰可見，屏幕同步顯示氙氣濃度、車間溫濕度、傳感器工作狀態、設備網絡連接狀態；設備支持多級報警閾值自定義設置，分為預警、二級報警、緊急泄漏三級提醒，超標后現場聲光報警，同時無線推送報警信息至車間中控、管理人員手機，同步聯動產線氣體緊急切斷閥、潔凈區排風系統，自動啟動應急通風、切斷氙氣氣源，快速控制泄漏險情。

模塊化可插拔傳感模組，潔凈車間維護無需整機拆卸，30 秒快速更換傳感器，配套紅外遙控器，無需開蓋即可遠程完成零點校準、報警參數調整，避免頻繁拆機破壞無塵車間潔凈度。設備內置本地數據存儲，完整保存全年工藝監測數據，支持導出標準報表，用于半導體工廠工藝質控、環保安全臺賬歸檔。

適配半導體晶圓蝕刻車間、光電燈管制造、芯片實驗室、高純氙氣配比車間，奕帆高純氙氣工藝配比監測氙氣檢測儀廠家，支持量程、通信模塊、潔凈外殼定制，可提供半導體行業配套技術方案年度計量校準一站式服務。

奕帆高純氙氣工藝配比監測氙氣檢測儀廠家